Kvantitativní studium hustoty rozložení dopantu v polovodiči pomocí emise sekundárních elektronů = Quantitative profiling of dopants in semoconductor by means of secondary electron emission : doktorská práce /
| Hlavní autor: |
Mika, Filip
(
Autor )
|
|---|---|
| Korporace: | |
| Typ dokumentu: | Kniha |
| Jazyk: |
čeština |
| Vydavatel: |
Brno :
[vl. n.],
2007.
|
| Předmět: | |
|
|