Chemické leptání monokrystalů InP a heterostruktur (InGa) (AsP)/InP : výzkumná zpráva /
Ve zprávě jsou popsány metody leptání heterostruktury (InGa) (AsP)/InP. Při leptání hřebenových struktur bylo použito selektivní leptání, a to pro (InGa) (AsP)/InP roztok H2SO4:H2O2:H2O a InP roztok HCL:H3PO4.
| Hlavní autor: |
Berková, Daniela
(
Autor )
|
|---|---|
| Další autoři: |
Kohout, J.
(
Autor )
|
| Typ dokumentu: | Kniha |
| Jazyk: |
čeština |
| Vydavatel: |
Praha :
ČSAV. Ústav fotoniky a elektroniky,
1988.
|
| Předmět: | |
|
|