Chemické tvarování monokrystalu InP a heterostruktur InGa AsP/InP /
Práce se zabývá chemickým leptáním monokrystalů InP a heterostruktur typu InGa AsP/InP. Byly podrobně zkoumány selektivní a neselektivní leptací procesy s cílem připravit určité vyleptané profily na těchto materiálech.
| Hlavní autor: |
Berková, Daniela
(
Autor )
|
|---|---|
| Další autoři: | |
| Typ dokumentu: | Kniha |
| Jazyk: |
čeština |
| Vydavatel: |
Praha :
ČSAV. Ústav radiotechniky a elektroniky,
1989.
|
| Edice: |
Kandidátská disertační práce ;
KDIS 198 |
|
|