Nickel Silicide Formation Using Excimer Laser Annealing
| Autor: | Tous, L., Lerat, J-F, Emeraud, T., Negru, R., Huet, K., Uruena, A., Aleman, M., Russell, R., John, J., Poortmans, J., Mertens, R. |
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| Zdroj: | In Energy Procedia 2012 27:503-509 |
| Databáze: | ScienceDirect |
| Externí odkaz: |
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