Vacuum ultraviolet to visible emission of some pure gases used for plasma processing
Autor: | Fozza, A.C., Kruse, A., Holländer, A., Ricard, A., Wertheimer, M.R. |
---|---|
Přispěvatelé: | Publica |
Jazyk: | angličtina |
Rok vydání: | 1998 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |
načítá se...