Vacuum ultraviolet to visible emission of some pure gases used for plasma processing

Autor: Fozza, A.C., Kruse, A., Holländer, A., Ricard, A., Wertheimer, M.R.
Přispěvatelé: Publica
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 1998
Databáze: OpenAIRE
načítá se...