Vacuum ultraviolet to visible emission of some pure gases used for plasma processing
| Autor: | Fozza, A.C., Kruse, A., Holländer, A., Ricard, A., Wertheimer, M.R. |
|---|---|
| Přispěvatelé: | Publica |
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 1998 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|