Modeling and experimental study on the edge chipping of monocrystalline silicon in ultra-micro-slot-grinding (UMSG) with ultra-micro-grinding (UMG) tools with diameters ~ 100 µm

Autor: Kefeng Song, Chunmi Liu, Jue Wang, Zhaozhi Guo, Songhao Yang, Jun Cheng
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: The International Journal of Advanced Manufacturing Technology. 121:2597-2613
ISSN: 1433-3015
0268-3768
DOI: 10.1007/s00170-022-09484-7
Databáze: OpenAIRE
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje