Modeling and experimental study on the edge chipping of monocrystalline silicon in ultra-micro-slot-grinding (UMSG) with ultra-micro-grinding (UMG) tools with diameters ~ 100 µm
Autor: | Kefeng Song, Chunmi Liu, Jue Wang, Zhaozhi Guo, Songhao Yang, Jun Cheng |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | The International Journal of Advanced Manufacturing Technology. 121:2597-2613 |
ISSN: | 1433-3015 0268-3768 |
DOI: | 10.1007/s00170-022-09484-7 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: | |
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje | K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit. |