Innovative Reaktoren und in-situ Analytik für Nano-Schutzschichten, Teilvorhaben: Optische In-situ-Analyse von Schicht und Plasma : Abschlußbericht IFU GmbH

Autor: IfU GmbH, Lichtenau, Mittweida
Jazyk: němčina
Rok vydání: 2003
Předmět:
DOI: 10.2314/gbv:378127012
Popis: (de)RAMAN spectroscopy, acustooptical filter (AOTF), emission spectroscopy
ill., graphs
Databáze: OpenAIRE