Innovative Reaktoren und in-situ Analytik für Nano-Schutzschichten, Teilvorhaben: Optische In-situ-Analyse von Schicht und Plasma : Abschlußbericht IFU GmbH
Autor: | IfU GmbH, Lichtenau, Mittweida |
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Jazyk: | němčina |
Rok vydání: | 2003 |
Předmět: | |
DOI: | 10.2314/gbv:378127012 |
Popis: | (de)RAMAN spectroscopy, acustooptical filter (AOTF), emission spectroscopy ill., graphs |
Databáze: | OpenAIRE |
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