X-ray nanodiffraction analysis of residual stresses in polysilicon electrodes of vertical power transistors

Autor:	Stefan Karner, Oliver Blank, Maximilian Rösch, Manfred Burghammer, Jakub Zalesak, Jozef Keckes, Juraj Todt
Rok vydání:	2022
Předmět:	General Materials Science
Zdroj:	Materialia. 24:101484
ISSN:	2589-1529
DOI:	10.1016/j.mtla.2022.101484
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::229f565505388de61a5e46efc89d05bd https://doi.org/10.1016/j.mtla.2022.101484 Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect