X-ray nanodiffraction analysis of residual stresses in polysilicon electrodes of vertical power transistors
Autor: | Stefan Karner, Oliver Blank, Maximilian Rösch, Manfred Burghammer, Jakub Zalesak, Jozef Keckes, Juraj Todt |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Materialia. 24:101484 |
ISSN: | 2589-1529 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |