Compositional Analysis of a Terpolymer Photoresist by Raman Spectroscopy

Autor: C. W. Wilkins, Elsa Reichmanis, E. Russavage, F. J. Purcell
Rok vydání: 1982
Předmět:
Zdroj: ACS Symposium Series ISBN: 9780841207158
Polymer Materials for Electronic Applications
DOI: 10.1021/bk-1982-0184.ch004
Databáze: OpenAIRE