Compositional Analysis of a Terpolymer Photoresist by Raman Spectroscopy
Autor: | C. W. Wilkins, Elsa Reichmanis, E. Russavage, F. J. Purcell |
---|---|
Rok vydání: | 1982 |
Předmět: | |
Zdroj: | ACS Symposium Series ISBN: 9780841207158 Polymer Materials for Electronic Applications |
DOI: | 10.1021/bk-1982-0184.ch004 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |