Modular Direct Laser Writing setup for high precision nanostructuring.
Autor: | Häcker, Annika-Verena, Stauffenberg, Jaqueline, Leineweber, Johannes, Ortlepp, Ingo, Hoffmann, Maximilian, Manske, Eberhard |
---|---|
Předmět: | |
Zdroj: | Technisches Messen; Nov2023, Vol. 90 Issue 11, p749-758, 10p |
Databáze: | Complementary Index |
Externí odkaz: |