Modular Direct Laser Writing setup for high precision nanostructuring.

Autor: Häcker, Annika-Verena, Stauffenberg, Jaqueline, Leineweber, Johannes, Ortlepp, Ingo, Hoffmann, Maximilian, Manske, Eberhard
Předmět:
Zdroj: Technisches Messen; Nov2023, Vol. 90 Issue 11, p749-758, 10p
Databáze: Complementary Index