Ultra-High Vacuum Cells Realized by Miniature Ion Pump Using High-Efficiency Plasma Source.
Autor: | Kurashima, Yuichi1 (AUTHOR) y-kurashima@aist.go.jp, Maeda, Atsuhiko1 (AUTHOR), Oshima, Naoto2 (AUTHOR), Motomura, Taisei3 (AUTHOR), Matsumae, Takashi1 (AUTHOR), Watanabe, Mitsuhiro2 (AUTHOR), Takagi, Hideki1 (AUTHOR) |
---|---|
Zdroj: | Sensors (14248220). Jun2024, Vol. 24 Issue 12, p4000. 8p. |
Databáze: | Academic Search Ultimate |
Externí odkaz: | |
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje | K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit. |