Zařízení pro in situ monitorování plošné homogenity tenkých neabsorbujících vrstev /

Hlavní autor:
Další autoři:
Harna, Zdeněk ( Autor )
Jákl, Miloš ( Autor )
Urbánek, Michal ( Autor )
Kollarčík, Karel ( Autor )
Nebojsa, Alois ( Autor )
Typ dokumentu: Článek
Jazyk: čeština
ISSN: 0447-6441
Zdroj: Jemná mechanika a optika : věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics: Roč. 44, č. 11-12 (1999), s. 355-358.
Předmět:
Externí odkaz: Získat plný text