Vývoj zařízení k in situ stanovení rozložení tlouštěk vrstev pomocí UV-VIS zobrazovací reflektometrie = Development of an optical apparatus for in situ monitoring of thicknesses by using of UV-VIS Imaging Reflectometry /

Hlavní autor:
Další autoři:
Urbánek, Michal ( Autor )
Běhounek, Tomáš ( Autor )
Plšek, Radek ( Autor )
Navrátil, Karel ( Autor )
Typ dokumentu: Článek
Jazyk: čeština
ISSN: 0447-6441
Zdroj: Jemná mechanika a optika : věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics: Roč. 51 , č. 9 (2006), s. 239-245.
Předmět:
tenké vrstvy
mikroskopie
reflektometrie
články
Externí odkaz: Získat plný text

Podobné jednotky