Hranice priamej merateĺnosti koncentrácie dopantu v polovodičových štruktúrach rastrovacím kapacitným mikroskopom /
Hlavní autor: |
Lányi, Štefan
(
Autor )
|
---|---|
Typ dokumentu: | Článek |
Jazyk: |
slovenština |
ISSN: | 0009-0700 |
Zdroj: | Československý časopis pro fyziku : založen r. 1872 jako Časopis pro pěstování matematiky a fysiky: Sv. 53, č. 2 (2003), s. 120-123. |
Předmět: | |
Externí odkaz: |
|