Fundamentals of microfabrication and nanotechnology Volume III, From MEMS to Bio-MEMS and Bio-NEMS :manufacturing techniques and applications /
| Hlavní autor: |
Madou, Marc J., 1953-
(
Autor )
|
|---|---|
| Typ dokumentu: | Kniha |
| Jazyk: |
angličtina |
| Vydavatel: |
Boca Raton :
CRC Press/Taylor & Francis,
c2012.
|
| Předmět: | |