Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. Volume 1, Solid-state physics, fluidics, and analytical techniques in micro- and nanotechnology /

Hlavní autor:
Typ dokumentu: Kniha
Jazyk: angličtina
Vydavatel: Boca Raton : CRC Press, c2012.
Vydání: 3rd ed.
Předmět:
nanotechnologie > el
nanotechnologie
mikrotechnologie
fyzika pevných látek
mikroelektronické technologie > el
mikromechanika > sr
fyzika pevných látek > fy
fotonika > fy
mems > mikroelektromechanické systémy > NEMS > mikroelektromechanické součástky
monografie

Podobné jednotky