Praktická elektronová litografie /
| Hlavní autor: |
Matějka, František, 1936-
(
Autor )
|
|---|---|
| Korporace: | |
| Typ dokumentu: | Kniha |
| Jazyk: |
čeština |
| Vydavatel: |
Brno :
Ústav přístrojové techniky AV ČR,
2013.
|
| Vydání: | Vyd. 1. |
| Předmět: | |