RF plasma jet system for deposition of LixZnOy thin films /

Hlavní autor:
Další autoři:
Čada, M. ( Autor )
Šíchová, Hana ( Autor )
Jastrabík, L. ( Autor )
Typ dokumentu: Článek
Jazyk: angličtina
ISSN: 0447-6441
Zdroj: Jemná mechanika a optika : věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis: Roč. 48, č. 11-12 (2003), s. 322-325.
Předmět:
tenké vrstvy
spektroskopie
články
Externí odkaz: Získat plný text

Podobné jednotky