Přístroje pro laserovou litografii nové generace : 3D strukturalizace v nanooblasti vyžaduje polohování s vysokou přesností = New generation instruments for laser litography /
| Hlavní autor: |
Arnold, Steffen
(
Autor )
|
|---|---|
| Další autoři: |
Pavlíček, Pavel
(
Překladatel )
|
| Typ dokumentu: | Článek |
| Jazyk: |
čeština |
| ISSN: | 0447-6441 |
| Zdroj: | Jemná mechanika a optika: Roč. 54, č. 5 (2009), s. 158-159. |
| Předmět: | |
| Externí odkaz: |
|