Vytváranie mikrootvorov v polovodičových doskách metódou plazmochemického leptania /
V článku sa popisuje vytváranie mikrootvorov priemeru niekoľkých (10 ÷ 100) μm v kremikových doskách s ľubovoľnou kryštalografickou orientáciou metódou plazmochemického leptania. Z uvedených závislostí možno stanoviť minimálno veĺkosť leptacieho otvoru na preleptanie dosky určitej hrúbky....
| Hlavní autor: |
Kubek, Jozef
(
Autor )
|
|---|---|
| Další autoři: |
Hrubčín, Ladislav
(
Autor )
|
| Typ dokumentu: | Článek |
| Jazyk: |
slovenština |
| ISSN: | 0009-0700 |
| Zdroj: | Československý časopis pro fyziku: Svazek 33, číslo 1 (1983), strana 51-54. |
| Předmět: | |
| Externí odkaz: |
Plný text
|