Kontrola jakosti polovodičových součástek pomocí infračervené řádkovací mikroskopie /

Hlavní autor:
Typ dokumentu: Článek
Jazyk: čeština
ISSN: 0009-0700
Zdroj: Československý časopis pro fyziku: Svazek 22, číslo 3 (1972), strana 316-317.
Předmět:
Externí odkaz: Plný text
Získat plný text