Hmotová spektroskopie sekundárních iontů (SIMS) /
Hmotová spektroskopie sekundárních iontů je jednou z moderních metod analýzy tenkých vrstev a povrchů pevných látek. Umožňuje získat informace o atomárním složení povrchů s hloubkovou rozlišovací schopností pod 0,1 μm a s citlivostí řádu 10-³ ppm pro některé nečistoty. Referát obsahuje popis princip...
| Hlavní autor: |
Šroubek, Zdeněk, 1932-
(
Autor )
|
|---|---|
| Další autoři: |
Zavadil, Jiří, 1948-
(
Autor )
|
| Typ dokumentu: | Článek |
| Jazyk: |
čeština |
| ISSN: | 0009-0700 |
| Zdroj: | Československý časopis pro fyziku : založen r. 1872 jako Časopis pro pěstování mathematiky a fysiky.: Svazek 27, číslo 5 (1977), strana 451-459. |
| Předmět: | |
| Externí odkaz: |
Plný text
|