Amorfné tenké vrstvy InSb pripravované katódovým naprašovaním s asymetrickým cyklom /
V práci sa popisuje příprava amorfných tenkých vrstiev InSb a Ge pomocou „katodového naprašovania s asymetrickým cyklom". Podstata metódy spočívá v prerušovanom bombardovaní nanášanej vrstvy počas jej kondenzácie iónmi argónu. Pri bombardovaní dochádza k vzniku róznych poruch, ako i zabudovaniu...
| Hlavní autor: |
Luby, Štefan, 1941-
(
Autor )
|
|---|---|
| Další autoři: |
Schilder, Jaroslav
(
Autor )
|
| Typ dokumentu: | Článek |
| Jazyk: |
čeština |
| ISSN: | 0009-0700 |
| Zdroj: | Československý časopis pro fyziku: Svazek 19, číslo4 (1969), strana 387-395. |
| Předmět: | |
| Externí odkaz: |
Plný text
|