Plazmochemické leptanie materiálov pre polovodičové struktury a súčiastky /
V práci sa popisujú rôzne metódy suchého leptania materiálov polovodičových štruktúr a súčiastok. Metódy sa porovnávajú so štandardnými postupmi mokrého chemického opracovania. Podrobnejšie sa rozoberá plazmochemické leptanie a odstraňovanie fotorezistov. Pozornost’ sa pritom venuje konštrukcii lept...
| Hlavní autor: |
Guldan, Arnošt
(
Autor )
|
|---|---|
| Další autoři: |
Luby, Štefan, 1941-
(
Autor )
|
| Typ dokumentu: | Článek |
| Jazyk: |
slovenština |
| ISSN: | 0009-0700 |
| Zdroj: | Československý časopis pro fyziku: Svazek 29, číslo 5 (1979), strana 468-475. |
| Předmět: | |
| Externí odkaz: |
Plný text
|