Tenké vrstvy SiN připravené metodou IBAD a jejich analýza infračervenou absorpční spektroskopií = Thin films SiN made up with the method IBAD and their analysis by infrared absorption spectroscopy /
Hlavní autor: |
Černý, František
(
Autor )
|
---|---|
Další autoři: |
Bryknar, Zdeněk, 1944-
(
Autor )
|
Typ dokumentu: | Článek |
Jazyk: |
čeština |
ISSN: | 0447-6441 |
Zdroj: | Jemná mechanika a optika: Roč. 43, č. 5 (1998), s. 155. |
Předmět: | |
Externí odkaz: |
|