Tenké vrstvy SiN připravené metodou IBAD a jejich analýza infračervenou absorpční spektroskopií = Thin films SiN made up with the method IBAD and their analysis by infrared absorption spectroscopy /
| Hlavní autor: |
Černý, František
(
Autor )
|
|---|---|
| Další autoři: |
Bryknar, Zdeněk, 1944-
(
Autor )
|
| Typ dokumentu: | Článek |
| Jazyk: |
čeština |
| ISSN: | 0447-6441 |
| Zdroj: | Jemná mechanika a optika: Roč. 43, č. 5 (1998), s. 155. |
| Předmět: | |
| Externí odkaz: |
|
|
|