Magnetronová depozice nestechiometrických vrstev nitridu titanu /
Hlavní autor: |
Poulek, Vladislav, 1957-
(
Autor )
|
---|---|
Typ dokumentu: | Kniha |
Jazyk: |
čeština |
Vydavatel: |
Praha :
Fyzikální ústav ČSAV,
1990.
|
Předmět: | |