Kombinace elektronové litografie s gaussovským svazkem a s proměnným tvarovaným svazkem /

Hlavní autor:
Další autoři:
Urbánek, Michal ( Autor )
Chlumská, Jana ( Autor )
Matějka, Milan ( Autor )
Meluzín, Petr ( Autor )
Typ dokumentu: Článek
Jazyk: čeština
ISSN: 0447-6441
Zdroj: Jemná mechanika a optika : věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics: Roč. 60, č. 1 (2015), s. 10-13.
Předmět:
optika
elektronový litograf
gaussovský svazek
tvarovaný proměnný svazek
články
Externí odkaz: Získat plný text

Podobné jednotky