Kombinace elektronové litografie s gaussovským svazkem a s proměnným tvarovaným svazkem /
a1_Jedním z hlavních témat vývoje v oblasti elektronové litografie je zvýšení exopziční rychlosti, tedy zvýšení vkonnosti, resp. propustnosti. Existují dva základní typy elektronových litografů, elektronové litogravy pracující s obdelníkovým svazkem proměnné velikosti a elektronové litografy pracují...
| Hlavní autor: |
Krátký, Stanislav
(
Autor )
|
|---|---|
| Další autoři: |
Urbánek, Michal
(
Autor )
|
| Typ dokumentu: | Článek |
| Jazyk: |
čeština |
| ISSN: | 0447-6441 |
| Zdroj: | Jemná mechanika a optika : věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics: Roč. 60, č. 1 (2015), s. 10-13. |
| Předmět: | |
| Externí odkaz: |
|