Určení toušťky tenké vrstvy z měření spektrální odrazivosti pomocí nové varianty obálkové metody = Thin-film thickness determination from a spectral reflectance measurement by using an alternative envelope method /
Práce prezentuje metodu určení tloušťky tenké vrstvy z měření spektrální odrazivosti s využitím nové varianty obálkové metody. Byl nalezen lineární vztah mezi vlnovou délkou tečny spektrální odrazivosti k obálkové funkci a odpovídající tloušťkou tenké vrstvy pro daný interferenční řád v širokém spek...
Hlavní autor: |
Luňáčková, Milena
(
Autor )
|
---|---|
Další autoři: |
Luňáček, Jiří, 1957-
(
Autor )
|
Typ dokumentu: | Článek |
Jazyk: |
čeština |
ISSN: | 0447-6441 |
Zdroj: | Jemná mechanika a optika: Roč. 54, č. 6 (2009), s. 188-191. |
Předmět: | |
Externí odkaz: |
|