Určení toušťky tenké vrstvy z měření spektrální odrazivosti pomocí nové varianty obálkové metody = Thin-film thickness determination from a spectral reflectance measurement by using an alternative envelope method /

Práce prezentuje metodu určení tloušťky tenké vrstvy z měření spektrální odrazivosti s využitím nové varianty obálkové metody. Byl nalezen lineární vztah mezi vlnovou délkou tečny spektrální odrazivosti k obálkové funkci a odpovídající tloušťkou tenké vrstvy pro daný interferenční řád v širokém spek...

Celý popis

Hlavní autor:
Další autoři:
Typ dokumentu: Článek
Jazyk: čeština
ISSN: 0447-6441
Zdroj: Jemná mechanika a optika: Roč. 54, č. 6 (2009), s. 188-191.
Předmět:
Externí odkaz: Získat plný text