Příprava mikro a nanostruktur pomocí selektivního mokrého leptání křemíku = Preparation of micro and nanostructures by selective Si wet etching /
| Hlavní autor: |
Šamořil, Tomáš
(
Autor )
|
|---|---|
| Další autoři: |
Metelka, Ondřej
(
Autor )
Šikola, Tomáš, 1957-
(
Autor )
|
| Typ dokumentu: | Článek |
| Jazyk: |
čeština |
| ISSN: | 0447-6441 |
| Zdroj: | Jemná mechanika a optika: Roč. 59, č. 6-7 (2014), s. 192-195. |
| Předmět: | |
| Externí odkaz: |
|