Tenké vrstvy ZnO připravené pomocí vícetryskového SWD plazmového systému = ZnO thin films prepared by multi SWD plasma jet system /
V článku je popsaná vícesvazková plazmová aparatura se čtyřmi nezávislými tryskami pracujícími na principu výboje generovaného surfatronem. Tento unikární systém byl následně optimalizován pro depozice metodou plazmochemického napařování a použit pro přípravu ZnO tenkých vrstev a ZnO vrstev dopovaný...
| Další autoři: |
Kohout, Michal
(
Autor )
|
|---|---|
| Typ dokumentu: | Článek |
| Jazyk: |
čeština |
| ISSN: | 0447-6441 |
| Zdroj: | Jemná mechanika a optika: Roč. 59, č. 2 (2014), s. 38-42. |
| Předmět: | |
| Externí odkaz: |
|