Nano modifikace hrotu W(100)/ZrO elektronového emitéru reaktivním iontovým leptáním /
Hroty pro katody W(100)/ZrO jsou připravovány z monokrystalického wolframového drátku o průměru 125 μm elektrochemickým anodickým leptáním. Pro přípravu katod pro lektonový litograf s tarovaným svazkem je žádoucí, aby vyleptáný hrot měl poloměr kolem 100nm. I když je proces anodického leptání kontro...
| Další autoři: |
Horáček, Miroslav
(
Autor )
|
|---|---|
| Typ dokumentu: | Článek |
| Jazyk: |
čeština |
| ISSN: | 0447-6441 |
| Zdroj: | Jemná mechanika a optika: Roč. 57, č. 10 (2012), s. 278-280. |
| Předmět: | |
| Externí odkaz: |
|