Rozklad integrovaně optických struktur pro litografickou technologii /
Zpráva popisuje koncepci vytváření datových souborů pro elektronový generátor obrazců Zeiss ZBA 10/1 k přípravě litografických masek integrovaně optických struktur. Odpovídající počitačový program LITOMAS 2.0 v jazyce Pascal 6.0 představuje nadstavbu základního jazyka MINICAD2 k usnadnění zadávání i...
| Hlavní autor: |
Janta, Jiří
(
Autor )
|
|---|---|
| Typ dokumentu: | Kniha |
| Jazyk: |
čeština |
| Vydavatel: |
Praha :
Akademie věd ČR. Ústav radiotechniky a elektroniky,
1994.
|
| Edice: |
Výzkumná zpráva ;
Z 1979/B |
|
|