Fizičeskije osnovy mikrotechnologii = The Physics of Microfabrication /
| Hlavní autor: |
Brodie, Ivor
(
Autor )
|
|---|---|
| Další autoři: |
Volodina, V. A.
(
Překladatel )
Peršenkova, V. S.
(
Autor )
|
| Typ dokumentu: | Kniha |
| Jazyk: |
ruština |
| Vydavatel: |
Moskva :
Mir,
1985.
|
| Předmět: | |
|
|