Multifrekvenční měřič tloušťky tenké vrstvy /
Článek pojednává o vývoji a popisu multifrekvenčnícho měřiče, použitého jako součást vakuových depozičních komor pro průběžné měření tlouštěk tenkých vrstev. Měřič je založený na měření odraznosti/propustnosti vzorku v několika bodech spektra, určených počtem a vlnovou délkou použitých laserů. Měřen...
| Hlavní autor: |
Vápenka, David
(
Autor )
|
|---|---|
| Další autoři: |
Václavík, Jan
(
Autor )
|
| Typ dokumentu: | Článek |
| Jazyk: |
čeština |
| ISSN: | 0447-6441 |
| Zdroj: | Jemná mechanika a optika: Roč. 63, č. 9 (2018), s. 242-244. |
| Předmět: | |
| Externí odkaz: |
|