Modifikace povrchu monokrystalického křemíku zářením ArF excimerového laseru /
| Hlavní autor: |
Lukeš, Ivo
(
Autor )
|
|---|---|
| Typ dokumentu: | Kniha |
| Jazyk: |
čeština |
| Vydavatel: |
Praha :
Fyzikální ústav Československé akademie věd,
1989.
|
| Předmět: | |
|
|