Laserový systém pro odměřování reliéfu MEMS vytvářeného metodou hlubokého reaktivního leptání /
| Hlavní autor: |
Maňka, Tadeáš
(
Autor )
|
|---|---|
| Další autoři: |
Šerý, Mojmír
(
Autor )
Lazar, Josef
(
Autor )
Číp, Ondřej
(
Autor )
Krátký, Stanislav
(
Autor )
Zemánek, Pavel, 1968-
(
Autor )
|
| Typ dokumentu: | Článek |
| Jazyk: |
čeština |
| ISSN: | 0447-6441 |
| Zdroj: | Jemná mechanika a optika: Roč. 62, č. 10 (2017), s. 270-272. |
| Předmět: | |
| Externí odkaz: |
|