Depozícia DLC vrstiev induktívne budenou plazmou (RF - ICP) = Deposition of DLC layers by inductively excited plasma (RF ICP) /
| Hlavní autor: |
Balon, František
(
Autor )
|
|---|---|
| Typ dokumentu: | Článek |
| Jazyk: |
slovenština |
| ISSN: | 0447-6441 |
| Zdroj: | Jemná mechanika a optika : věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics.: Roč. 45, č. 7-8 (2000), s. 220-221. |
| Předmět: | |
| Externí odkaz: |
|
|
|