Ellipsometric study of thin filsm under various conditions /

Hlavní autor:
Další autoři:
Kulikovsky, Valery ( Autor )
Chvostova, Dagmar ( Autor )
Gerlach, Gerald ( Autor )
Suchaneck, Gunnar ( Autor )
Typ dokumentu: Článek
Jazyk: angličtina
ISSN: 0447-6441
Zdroj: Jemná mechanika a optika : věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis: Roč. 48, č. 11-12 (2003), s. 317-319.
Předmět:
elipsometrie
tenké vrstvy
články
Externí odkaz: Získat plný text

Podobné jednotky