In situ analysis of PMPSi zhin films by spectroscopic ellipsometry /
| Hlavní autor: |
Brandejsová, Eva, 1980-
(
Autor )
|
|---|---|
| Další autoři: |
Čechal, Jan, 1978-
(
Autor )
|
| Typ dokumentu: | Článek |
| Jazyk: |
angličtina |
| ISSN: | 0447-6441 |
| Zdroj: | Jemná mechanika a optika : věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis: Roč. 49, č.9 (2004), s. 260-262. |
| Předmět: | |
| Externí odkaz: |
|
|
|