Příprava víceúrovňových difraktivních optických elementů elektronovou litografií /
Hlavní autor: |
Matějka, František, 1936-
(
Autor )
|
---|---|
Typ dokumentu: | Článek |
Jazyk: |
čeština |
ISSN: | 0447-6441 |
Zdroj: | Jemná mechanika a optika : věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis: Roč. 48, č. 5 (2003), s. 138-141. |
Předmět: | |
Externí odkaz: |
|