Calibration of scanning capacitance microscope transducers for high accuracy and lateral resolution analysis = Kalibrace rastrovacího kapacitního mikroskopu : teorie a aplikace /
| Hlavní autor: |
Lányi, Š.
(
Autor )
|
|---|---|
| Typ dokumentu: | Článek |
| Jazyk: |
angličtina |
| ISSN: | 0447-6441 |
| Zdroj: | Jemná mechanika a optika : věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics: Roč. 50, č. 11-12 (2005), s. 342-344. |
| Předmět: | |
| Externí odkaz: |
|
|
|