SEM a AFM studie morfologie tenkých vrstev tuhého roztoku SiC-AIN /

Další autoři:
Dallaeva, Dinara ( Autor )
Bilalov, Bilal ( Autor )
Typ dokumentu: Článek
Jazyk: čeština
ISSN: 0447-6441
Zdroj: Jemná mechanika a optika: Roč. 58, č. 3 (2013), s. 75-77.
Předmět:
optika
karbid křemíku
nitrid hliníku
epitaxe
SEM
AFM
články
Externí odkaz: Získat plný text

Podobné jednotky